SF6因其具有良好的絕緣和滅弧性能，在電力行業(yè)中得到了普遍應(yīng)用。電氣設(shè)備在維護(hù)、檢修和退役時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量的SF6廢氣，但由于SF6氣體化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，極難分解，具有高溫室效應(yīng)潛在值（GWP）而被列為溫室氣體行列，SF6廢氣的處理對(duì)保護(hù)環(huán)境具有長(zhǎng)遠(yuǎn)意義。等離子體法是利用等離子體中的有效活性物質(zhì)與SF6發(fā)生反應(yīng)，使其在短時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，是目前比較流行的一種降解方式。介質(zhì)阻擋放電（DBD）等離子體作為一種低溫等離子體，實(shí)驗(yàn)設(shè)備和放電所需條件相對(duì)簡(jiǎn)單，易于控制，操作安全可靠等一系列優(yōu)點(diǎn)使其廣泛應(yīng)用于處理?yè)]發(fā)性有機(jī)物廢氣。
 
DBD等離子體反應(yīng)器對(duì)體積分?jǐn)?shù)為2%的SF6進(jìn)行流動(dòng)降解處理，分別分析了加H2O和O2對(duì)SF6降解效率和降解產(chǎn)物的影響。在單獨(dú)加H2O或O2或兩者都加時(shí)均能極大提高SF6的降解率，使2%的高濃度SF6降解率從60%提高到96%以上；在添加0.5%的H2O和2%的O2協(xié)同作用下，在50mL/min的體積流量下SF6降解率達(dá)到了98.2%。通過(guò)GC-MS和FTIR檢測(cè)結(jié)果顯示H2O的參與使SF6降解過(guò)程中傾向于生成SO2，O2的參與使SF6降解過(guò)程中傾向于生成SO2F2。
 
圖1 不同條件下SF6的降解率

 
基于DBD等離子體技術(shù)對(duì)高濃度SF6進(jìn)行了高效降解，通過(guò)添加H2O和O2使SF6降解率在98%以上，并通過(guò)產(chǎn)物分析發(fā)現(xiàn)H2O和O2可以對(duì)降解后的主要副產(chǎn)物進(jìn)行選擇，為調(diào)節(jié)降解產(chǎn)物提供了研究方向。

后續(xù)的研究將圍繞SF6降解產(chǎn)物調(diào)控和產(chǎn)物無(wú)害化兩個(gè)方向進(jìn)行研究，實(shí)現(xiàn)SF6的高效無(wú)害化降解。

在六氟化硫SF6設(shè)備當(dāng)中，應(yīng)用下列辦法來(lái)控制SF6氣體中的水分含量。
 
①應(yīng)將六氟化硫SF6新氣體抑或是再生氣體的含水量加以嚴(yán)格地控制，不可超過(guò)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。運(yùn)行當(dāng)中六氟化硫氣體的含水量可以高一些，但是**不可以超過(guò)國(guó)家所規(guī)定的六氟化硫SFSF6因其具有良好的絕緣和滅弧性能，在電力行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。電氣設(shè)備在維護(hù)、檢修和退役時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量的SF6廢氣，但由于SF6氣體化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，極難分解，具有高溫室效應(yīng)潛在值（GWP）而被列為溫室氣體行列，SF6廢氣的處理對(duì)保護(hù)環(huán)境具有長(zhǎng)遠(yuǎn)意義。等離子體法是利用等離子體中的有效活性物質(zhì)與SF6發(fā)生反應(yīng)，使其在短時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，是目前比較流行的一種降解方式。介質(zhì)阻擋放電（DBD）等離子體作為一種低溫等離子體，實(shí)驗(yàn)設(shè)備和放電所需條件相對(duì)簡(jiǎn)單，易于控制，操作安全可靠等一系列優(yōu)點(diǎn)使其廣泛應(yīng)用于處理?yè)]發(fā)性有機(jī)物廢氣。
 
DBD等離子體反應(yīng)器對(duì)體積分?jǐn)?shù)為2%的SF6進(jìn)行流動(dòng)降解處理，分別分析了加H2O和O2對(duì)SF6降解效率和降解產(chǎn)物的影響。在單獨(dú)加H2O或O2或兩者都加時(shí)均能極大提高SF6的降解率，使2%的高濃度SF6降解率從60%提高到96%以上；在添加0.5%的H2O和2%的O2協(xié)同作用下，在50mL/min的體積流量下SF6降解率達(dá)到了98.2%。通過(guò)GC-MS和FTIR檢測(cè)結(jié)果顯示H2O的參與使SF6降解過(guò)程中傾向于生成SO2，O2的參與使SF6降解過(guò)程中傾向于生成SO2F2。
 
圖1 不同條件下SF6的降解率6氣體運(yùn)行中的標(biāo)準(zhǔn)值。補(bǔ)充六氟化硫SF6氣體時(shí)對(duì)存放半年以上的氣瓶，使用前，應(yīng)復(fù)測(cè)其中的氣體微水含量。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中新六氟化硫SF6氣體的含水量不得高于8ppmv。

 
②改善六氟化硫sf6高壓電器設(shè)備在組裝和維修檢查過(guò)程中的環(huán)境狀況，監(jiān)測(cè)環(huán)境的空氣濕度，工作現(xiàn)場(chǎng)空氣濕度不得大于80%，安裝檢修人員須遵循與之相關(guān)的工藝的要求在現(xiàn)場(chǎng)來(lái)對(duì)其進(jìn)行組裝和維修以此來(lái)使設(shè)備內(nèi)絕緣件以及部件的清潔程度加以保持，因?yàn)?，?dāng)一些污物在絕緣件的表面存在時(shí)，會(huì)使得絕緣件的表面絕緣電阻降低至幾個(gè)數(shù)量級(jí)，從而導(dǎo)致絕緣件沿面放電電壓會(huì)**下降。
 
試驗(yàn)以及理論分析已經(jīng)證明，當(dāng)能夠降低絕緣電阻的污物不在絕緣件表面存在的時(shí)候，凝結(jié)水本身不會(huì)讓其沿面絕緣能力大幅度降低。也就是說(shuō)，保持絕緣件表面的清潔在組裝以及維修的時(shí)候是必須要做到的。在組裝之前，可以利用**擦干凈其表面，在使用時(shí)也要保證絕緣件表面的清潔。應(yīng)保存良好充補(bǔ)氣管道，充補(bǔ)氣之前，應(yīng)當(dāng)徹底沖洗干凈管道，防止水分進(jìn)到設(shè)備內(nèi)部。
 
③要將六氟化硫SF6設(shè)備密封材料的質(zhì)量以及密封部位的結(jié)構(gòu)加以改善，且要選擇質(zhì)量上乘的密封材料用來(lái)防止水分滲入設(shè)備內(nèi)部，避免使用含水量高的絕緣和密封材料。吸附劑是很容易就會(huì)受潮的，所以要烘干處理安裝于sf6設(shè)備內(nèi)的吸附劑。在200℃的烘干溫度下要烘干時(shí)間12小時(shí)，在300℃的溫度下要烘干4～8小時(shí)。烘干的吸附劑要置于密封干燥的容器當(dāng)中冷卻至稍稍比室溫高之后快速置于設(shè)備內(nèi)部，其在空氣中的暴露時(shí)間不能超過(guò)10分鐘。
 
④安裝檢修人員應(yīng)嚴(yán)格按相關(guān)的工藝要求進(jìn)行組裝或維修，對(duì)接面應(yīng)涂抹防水密封膠，對(duì)接密封面緊固螺栓的緊固應(yīng)嚴(yán)格按照力矩要求均勻緊固，保證密封面密封良好，防止大氣當(dāng)中的水汽經(jīng)由六氟化硫sf6設(shè)備密封薄弱環(huán)節(jié)滲透進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部。
 
水分對(duì)與SF6氣體以及設(shè)備的影響是非常大的，六氟化硫SF6氣體中水分含量的多少直接關(guān)系到六氟化硫SF6氣體絕緣強(qiáng)度的高低和設(shè)備的安全運(yùn)行。在SF6設(shè)備中，應(yīng)嚴(yán)格控制SF6氣體中的微水含量。只有把SF6氣體中微水含量控制在國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的范圍內(nèi)，才能使水分對(duì)SF6氣體以及設(shè)備的影響降至**，才可以保證SF6氣體的絕緣強(qiáng)度的穩(wěn)定以及設(shè)備的安全運(yùn)行。